大基金新乡化纤厂二期专题策划四

7月初，国产刻蚀机龙头——中微公司获国家集成电路工业出资基金25亿元出资。而自成立以来，大基金已出资包含中微公司、北方华创、长川科技等多家半导体设备厂商。

大基金的入局，给半导体设备职业带来了哪些改变？国内某半导体设备企业高管表明，大基金的出资不只仅是财政方面，一起也是战略上的。大基金经过倾泻资源，以及上下流生态相互间的影响，让国内配备资料企业赶快取得商业化打破。

半导体设备职业已有技能打破

半导体设备首要分为光刻机、刻蚀机、薄膜堆积设备、分散\离子注入设备、清洗设备、检测设备等六大类设备，其间光刻、刻蚀和薄膜堆积设备等占比较高，光刻机约占全体设备销售额的30%，刻蚀机约占20%，薄膜堆积设备约占25%(PVD 15%、CVD 10%)。

记者整理资料发现，现在为止，大基金的布局触及薄膜堆积、刻蚀、离子注入机、检测设备、清洗设备等设备范畴的国内龙头公司。如渠道型设备龙头北方科创(002371.SZ)、刻蚀设备龙头中微公司(688012.SH)、离子注入机龙头万业企业(600641.SH)检测设备职业的精测电子(300567.SZ)、长川科技(300604.SZ)等。

而在涂胶显影设备与半导体切开设备方向，大基金现在仍未布局。在优先布局半导体资料、设备的布景下，芯源微、光力科技等细分龙头，能否成为大基金二期的出资标的，成为职业重视热门。 依据 SEMI 数据，现在国内半导体设备职业规划约千亿元，但大部分设备依靠日美厂商，国产化水平仍然较低。

值得重视的是，曩昔一年内，国内设备范畴取得了多项技能打破。如上海微电子完成22纳米光刻机技能，中微公司成功研制5纳米刻蚀机且进入台积电产线，至纯科技的28纳米湿法工艺设备认证结束。

从客户导入状况来看，北方华创、中微公司、精测电子等企业都已进入中芯世界产线，而中微公司、至纯科技、盛美股份乃至还进入了世界头部厂商——台积电、海力士的产线，意味其产品实力已达到世界一流水准。

“曾经晶圆厂是很不乐意给国产设备验证时机的，现在情绪发生了180度的改变。”某国内半导体设备高管向记者表明。在大基金的协调下，下流晶圆厂不只验证速度大大加速，还大规划投入人力、物力、财力，支撑设备企业全体工艺目标的验证，包含不吝供给很多设备验证用的晶圆片。

本钱推进，国内半导体设备职业开展加速

记者注意到，在有关本钱的推进下，国内半导体设备职业有望加速开展脚步。

刚刚取得大基金加持的万业企业，近来先后并购凯世通和Compart Systems，切入离子注入机和气体传输体系零组件商场，该公司有关负责人表明，未来公司方案掩盖更多的设备及资料范畴，成为多元化配备资料渠道一起，赋能国内设备企业，协助国产化率的提高。

半导体切开机出产企业——光力科技内部人士也对记者表明，“现在在手订单比较充分，工人要加班加点地做，有不少订单要到下一年新年左右才干交给。”

中微公司亦在6月份揭露表明，当时国产化率在可喜地增加，其间国内出资的出产线因为客户支撑，国产化率有相当大的前进，但国外大公司在国内的出财物线，国产化率有必定的约束，期望与国外干流的集成电路厂商有进一步的协作。 据兴业证券研究报告，2021-2023年，大陆国资布景晶圆厂、存储厂产能提高显着。仅12英寸逻辑代工芯片，产能将从每月45万片，暴增至102.5万片。在此布景下，未来三年或是国内半导体设备厂商的严重机会。

芯源微曾在4月份的一场出资者联系活动中声称，当时我国的半导体商场处于前史最好时期，是黄金窗口期，这个黄金期至少会继续三到五年，国内的半导体设备职业，包含芯源微，要捉住这个黄金窗口期。